製品機器
MLC半導體テスト専用切(qie)斷(duan)機(ji)
MLC半導體テスト専用切斷機
優位性：
1、高速(su)シングルマーク位置決(jue)め切斷を実現、最速(su)8ストローク/秒が可(ke)能(neng)です。
2、歪み（水平(ping)(ping)、上(shang)下(xia)）、偏り（水平(ping)(ping)）のスマートデジタル補正(zheng)を完(wan)備(bei)しています。
3、一臺でほぼすべての素材に対応、加工することが可能です。
4、第(di)五世代設(she)備(bei)機器は切(qie)斷(duan)前のエッジカット、切(qie)斷(duan)、切(qie)斷(duan)後のヘリ始末の三(san)工程すべてを搭載(zai)しています。
5、予備取り外し式切斷(duan)刃モジュールを裝備、オンライン上での刃こぼれ、平行(xing)(xing)度(du)、直線(xian)度(du)等自(zi)動検査機能(neng)(neng)を搭載(zai)し、切斷(duan)刃の管理を効(xiao)率的に行(xing)(xing)うことが可能(neng)(neng)です。
6、設備自動點検(jian)保守設定を搭載、設備保守メンテナンス作業をよりスムーズにし、簡単(dan)に操作を行うことが可(ke)能です。
仕様詳細(xi)：
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CT-3300 |
CT-4200 |
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切(qie)斷バー関(guan)連データ |
材料 |
積層セラミック製(zhi)品(pin) |
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厚(hou)み |
お客様のご要望による |
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Chipサイズ |
01005以上の全(quan)ての規格製品 |
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バー寸法 |
お客様のご要望による |
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機(ji)器(qi)仕(shi)様 |
機器外形寸法 |
1220*1000*1715mm |
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機(ji)器(qi)総重量 |
1900kg |
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電源 |
単(dan)相220V |
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定(ding)格電圧 |
11.5KW |
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吸盤真空度 |
-99~-50kpa |
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予熱(re)、切(qie)(qie)斷(duan)刃モジュール、切(qie)(qie)斷(duan)テーブル加(jia)熱(re)溫度 |
常溫(wen)-90℃±3℃ |
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投入(ru)方(fang)法 |
橫移動単軸投(tou)入取(qu)り出し裝置 |
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機器(qi)CT時間 |
區畫切(qie)斷：10ストローク/s シングルストローク位(wei)置決め：8ストローク/s |
區畫切斷：10ストローク/s シングルストローク位置決(jue)め：8ストローク/s 位置補正CT：角度ずれ0.1°/回、+0.18s |
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精度 |
Z軸重複(fu)精度 |
≤5μm |
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Y軸重複(fu)精(jing)度 |
≤5μm |
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切斷テーブル重複精度 |
90°±0.016 |
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切斷テーブル円周振れ公差 |
≤15-20μm（テーブルサイズにより決(jue)定） |
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切(qie)(qie)斷刃無(wu)ジュール、切(qie)(qie)斷テーブルの平(ping)行度 |
≤20μm |
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畫像処(chu)理 |
撮影倍率 |
1 X、3 X |
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解像(xiang)度 |
4.8um/pix、1.6um/pix |
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プリセットカメラ |
標(biao)準裝備 |
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光(guang)源 |
３タイプ一體化(hua) |
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切斷刃テスト |
切斷刃摩耗検(jian)査+清掃 |
検査結果有効精(jing)度：≤30μm |
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切斷刃モジュール規(gui)格 |
切斷刃モジュールサンプル |
分(fen)離式切斷刃モジュール、切斷刃をすばやく交換することが可能 |
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切斷異常割合(he) |
標準裝(zhuang)備3.5mm、カスタマイズ可 |
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調(diao)整可能(neng)角度 |
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±3°以內(nei)の角(jiao)度調(diao)整可 |
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切斷方(fang)法 |
昇順、降順、區畫切(qie)斷等 |
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デジタル調圧(ya)可パネル |
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標準(zhun)裝備 |
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切斷機補助用治具スツール：
志(zhi)臻(zhen)切斷(duan)機(ji)の切斷(duan)刃交換、設(she)備機(ji)器(qi)の精密検査(cha)に用います。交換が必(bi)要(yao)な設(she)備機(ji)器(qi)のすぐ近くにまですばやく接近し、作業を行うことが可(ke)能です。
1.切(qie)斷刃の交換時に用いる便利(li)な治具(ju)スツールです。
2. 切斷刃交換終了(le)後に直線度検査
3. 切斷(duan)刃交換終(zhong)了後に高度及び平行度の検査
4.テーブル平(ping)面度(du)検査
5.切(qie)斷刃モジュール設置位置平行度検査
6.切斷刃(ren)取付け用モンキーレンチ
7.テーブルとZ軸の垂(chui)直度検(jian)査
8.切斷刃の清掃に用いる高圧洗浄(jing)機
9.キャリパー及び切斷刃(ren)長さスケール
10.溫度測量器
